• 南宫NG28

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    FA4230_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人

    FA4230_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人
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    • FA4230_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人

    • 产品描述
    • 规格参数
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      • 商品名称: FA4230_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人
      • 产品: 半导体机器人
      • 应用: 大气晶圆系列
      • 负载: 2-5KG
      • 臂长: 200-499mm

      FA4230_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。

      单轴大气晶圆片盒搬运机器人
      FA4230_FA系列半导体机器人
       
      • ●采用闭环伺服控制
      • ●可根据设备布局定制臂长和Z轴行程
      • ●可选配免电池绝对式编码器
      • ●可选mapping传感器类型:对射式、反射式
      • ●可选末端执行器类型:真空吸附式、夹持式、翻转吸附式

      臂长

      420mm

      额定/最大负载

      4kg

      搬运物

      ≤Φ300mm晶圆

      南宫NG28众为兴FA4230F_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人
    • 南宫NG28众为兴FA4230_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人

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    FA4230_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人


    FA4230_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。


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